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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF700品牌
北京泰科诺产地
北京样本
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设备名称:热丝 CVD 金刚石膜沉积设备
设备型号:HF700
真空腔室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷
真空腔室尺寸:Φ700mmxH700mm
真空系统:高真空泵组系统
基片台尺寸:350mm?×350mm? 方形基片台(旋转、升降可选)
衬底温度:600 ~ 1100℃
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