静电卡盘

推荐该企业申请一项氧化铝陶瓷静电卡盘相关专利

中国利盈娱乐讯 近日，国家知识产权局信息显示，东莞信柏结构陶瓷股份有限公司申请一项名为“陶瓷及其制备方法、静电卡盘”的专利，公布号CN120157460A。在先进的大规模集成电路制造过程中有着几百种工艺步骤，圆片需要在多达几百[更多]

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